Акыркы жылдары менин өлкөмдүн сенсорлору тездик менен өнүгүп жатат жана өтүнмөнүн талаалары дагы кеңейет. Заманбап өлчөө технологиясынын эң жетилген түрү, жаңы технологиялар, жаңы материалдар жана жаңы процесстер басым сэндорлор жаатында тынымсыз пайда болгон.
Басым сенсору - бул баскычтарды аныктоо үчүн колдонулган шайман белгилүү бир эрежелер боюнча электрдик сигналдарга айландырылат. Ал ар кандай өндүрүш, өнөр жай жана аэрозсадагы талааларда кеңири колдонулат. ° C) басымын өлчөө үчүн, натыйжада иштебей калат. Демек, температура басым сэнсору абдан маанилүү изилдөө багытына айланат.
Жогорку температура басымдын сенсорлорунун классификациясы
Ар кандай материалдардын айтымында, температуранын жогорку деңгээлдеги басымы полисиликонго (поли-си) басымга алдыруучу сициоризаторлордун жогорку температурасы (силикон) чымындар SOI жогорку температура басым жасагандыгынын абалы жана келечеги абдан идеалдуу. Төмөндө, негизинен SOI жогорку температура басым сэнсору менен тааныштырат.
Soi жогорку температура басым сенсору
SOI жогорку температуранын басымын иштеп чыгуу, негизинен SOI материалдарынын жогорулашына таянат. Түзмөккө ишенимдүүлүк.in Кошумчалагандай, SOI түзмөгүнүн катмарынын жогорку температурасынын мүнөздөмөлөрүнө байланыштуу, ал жогорку температуранын басымын басым жасоо сенсорлорун даярдоо үчүн идеалдуу материал болуп калат.
Азыркы учурда Сои жогорку температура басымы чет өлкөдө ийгиликтүү өнүккөн жана иштөө температурасы -55 ~ 480 ° C; АКШдагы Тогончтеги алдыңкы сенсордук технологиялар борбору тарабынан өнүккөн SOI жогорку температуранын жогорку деңгээлине караганда, Француз Лети Институту 400 ° C.Domestictical изилдөө институттарынын иштөө температурасы бар, ошондой эле Си Циатонг Университетинин, Тяньцзин Университети жана Пекиндин университетинин жогорку температикалык басымдуулук боюнча жогорку температураны активдүү жүргүзүп турат. Мындан тышкары, ФАТРдин келечектеги алдыңкы технологиясын изилдөө институту ошондой эле байланышкан изилдөө иштерин жүргүзөт, ал эми учурдагы долбоор демонстрациялык баскычка кирди.
SOI жогорку температура басымдуулук сенсору
Проялктин жогорку температуранын басымы, негизинен, бир күч кристоресистивдүү сезимдеринин негизинен бир күч силикон кристаллында актылар, кристалл кристаллынын тормушунда, кремнийлердин мобилдүүлүгүнүн өзгөрүшүнө алып келет, ал эми кремний кристорисистиктердин өзгөрүшүнө алып келет 2 (а) сүрөтүндө көрсөтүлгөндөй, Wheatstone көпүрөсүн түзүү үчүн түзмөк катмары; Сой сөөгүндөгү сорманын катмарын басым жасалат.
2-сүрөт (a) Wheatsone көпүрөсү
Басым сезгич түзүм аба басымына дуушар болгондо, өз кезегинде пьезоресистор өзгөрүүлөрүнүн өзгөрүшүнө дуушар болгондо, ал өз кезегинде, басымдын чыңалуунун ветеринаринин өзгөрүүсүнө жана пьезоресистордун каршылык көрсөткүчүнүн ортосундагы мамиле аркылуу өлчөнөт.
SOI жогорку температура басым сэнсору
SOI жогорку температура басым жасагандыгын даярдоо процесси бир нече меморлор процесстерин камтыйт. Бул жерде сиз сизсордун, негизинен пьезоресистор даярдоо, металл коргошунду даярдоо, басымдык сезимтал фильмди даярдоо жана басым палатасы таңгактоо процессин түшүнүү үчүн кыскача киргизилген.
Варианттарды даярдоонун ачкычы Допинг концентрациялануусун жана андан кийинки калыптоо процессин оптималдаштырууну көзөмөлдөп турат; Металл коргошун катмары негизинен Вытстондун көпүрөсүнүн байланышы катары кызмат кылат; Басым сезимтал фильмди даярдоо Негизинен терең силикон жигердүү процессине таянат; Көмүрдүн таңгактоосу, адатта, басым сэндурун колдонууга жараша өзгөрүлүп турат,
Учурдагы температуранын жогорку температурасы, аэро-кыймылдаткычтар сыяктуу температуранын жогорку деңгээлдеги айырмачылыктарын, келечектеги изилдөөлөрдүн басымын өлчөө үчүн, анын жогорку температуранын жогорку деңгээлдеги айырмачылыктары жана температуранын эң жогорку температурасынын жогорку температурасы үчүн эң жогорку деңгээлдеги мааниге ээ болгон. Сои температуранын жогорку деңгээлдеги басымы боюнча келечектеги издери сиз башкалардын орточо температурадагы катуу чөйрөлөрдө сезүүчүлөрдүн узак мөөнөттүү туруктуулугун жана өзүн-өзү жылытуу көйгөйлөрүн чечүүгө жана басымдын сенсорлорунун тактыгын жогорулатуу үчүн өз алдынча жылытылгандарды чечүүгө багытталышы керек. аспект.
Албетте, аң-сезимдүү доордун аң-сезими, ошондой эле, өтө көп температура, өзүн-өзү калибибрлөө, ал эми сенсорго чейинки эң жогорку температура экологиялык басымын жакшыраак аягына чыгаруу үчүн акылдуу функцияларды алып келүү үчүн башка көп тармактуу технологиялар менен айкалышкан. .
Пост убактысы: FEB-13-2023